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潔凈室檢測:
什么是潔凈室?
潔凈室(CleanRoom),亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。
按照國際慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。
目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún),這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
潔凈室檢測服務(wù)項目:
類(lèi)別
依據標準
檢測項目
潔凈室檢測
GB 50591-2010
潔凈室施工及驗收規范、GB 50472-2008電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范、GB/T 16292-2010 醫藥工業(yè)潔凈室(區)懸浮粒子的測試方法
懸浮粒子(潔凈度)、浮游菌、沉降菌、溫度、室內壓力、新風(fēng)量、噪聲、照度等
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